御史、御史大夫府、丞相司直和司隶校尉、中央设御史府、台院、殿院、察院、都察院，罢谏院等。
春秋战国：御史兼有监察的使命，但这个时期还没有专职的监察机构。
2、秦：创建御史大夫府为中央监察机构，在地方设置监郡御史。
3、汉：在中央设御史府的同时，增设丞相司直和司隶校尉为中央监察官，在地方设立十三部剌史，监察地方二千石长吏，并制定了第一个专门性的地方监察法规，给事中与谏议大夫等言官也已问世。
4、魏晋南北朝：中央御史台脱离少府，直接受命于皇帝，废司隶校尉，监察机构初步统一，监察权扩大，自王太子以下无所不纠。谏官系统开始规范化、系统化。
5、隋：设中央设御史府，分别负责内外监察。
6、唐：在御史台下设台院、殿院、察院，分工明确，互相配合，地方则分十道(后增至十五道)监察区，形成比较严密的监察网。谏官组织分隶中书、门下两省，形成台谏并立局面。
7、宋：设立谏院，台谏职权开始混杂，趋向合一，地方监察设监司和通判，直隶皇帝。
8、元：取消谏院，台谏合一。地方设行御史台，统辖二十二道监察区，每道设肃政廉访使(提刑按察司)，从而使中央与地方在监察机构上浑然一体。元朝还制定了一整套的监察法规。
9、明：改御史台为都察院，罢谏院，设六科给事中，成为六部的独立监察机构，科道并立。地方设十三道巡按御史和各省提刑按察司，同时设督抚，形成地方三重临察网络。
10、清：将六科给事中归属都察院，科道合一，地方监察沿用明制。清朝还制定了我国古代最完整的一部监察法典《钦定合规》。
